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光波干涉原理平行平晶
來源:云儀儀表 發(fā)布時間: 2016-11-30 9:02:21 瀏覽次數(shù):74

                      平行平晶

平行平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。

平行平晶具有高精度的平面性和平行性。

平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個系列,每個系列各分六組,每組四塊。

功能:平行平晶用于干涉法測量千分尺、卡規(guī)和千分表等測量面平面度、平面平行度。
產(chǎn)品規(guī)格:

每組平行平晶共四塊,分四個尺寸系列組

測量面上平面度偏差:<0.1μm

平面度局部偏差:   >0.03μm

測量面平行度誤差:  組Ⅰ系列允差值:0.06μm

                    組Ⅱ、Ⅲ系列允差值:0.08μm

                    組Ⅳ系列允差值:0.1μm

 

組Ⅰ

平行平晶

0-25mm

4塊/組

組Ⅱ

平行平晶

25-50mm

4塊/組

組Ⅲ

平行平晶

50-75mm

4塊/組

組Ⅳ

平行平晶

75-100mm

4塊/組

平行平晶尺寸系列表

 

組號

0-25

25-50

50-75

75-100

1

15.00,15.12

15.25,15.39

40.00,40.12

40.25,40.37

65.00,65.12

65.25,65.37

90.00,90.12

90.25,90.37

2

15.12,15.25

15.37,15.50

40.12,40.25

40.37,40.50

65.12,65.25

65.37,65.50

90.12,90.25

90.37,90.50

3

15.25,15.37

15.50,15.62

40.25,40.37

40.50,40.62

65.25,65.37

65.50,65.62

90.25,90.37

90.50,90.62

4

15.37,15.50

15.62,15.75

40.37,40.50

40.62,40.75

65.37,65.50

65.62,65.75

90.37,90.50

90.62,90.75

5

15.50,15.62

15.75,15.87

40.50,40.62

40.75,40.87

65.50,65.62

65.75,65.87

90.50,90.62

90.75,90.87

6

15.62,15.75

15.87,16.00

40.62,40.75

40.87,41.00

65.62,65.75

65.87,66.00

90.62,90.75

90.87,91.00

 


標簽: 光波干涉原理平行平晶

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